扫描式电子显微镜 (SEM)
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发布: 超级管理员/
发布时间:2023-07-11 15:20:04/
扫描式电子显微镜，又扫描电镜（Scanning Electron Microscope, SEM）主要是利用微小聚焦的电子束(Electron Beam)进行样品表面扫描。 此电子束(Electron Beam)与样品间的交互作用会激发出各种信号，如: 二次电子、背向散射电子及特性X光等，SEM主要就是收集二次电子的信号来成像。
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SEM景深大、分辨率高，放大倍率可达到数十万倍以上，可用来观察样品表面及剖面微结构。如在设备上加装能量分散X光谱仪(Energy Dispersive Spectrometer， 简称EDS)时，可对样品表面同时进行微区之材料分析，包括定性、半定量之成分分析以及特定区域之Point、Line Scan、Mapping分析。
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